集成電(diàn)路(lù)探測系統是(shì)一(yī)種成熟的(de)ε ₽≥工(gōng)具,用(yòng)于測試矽晶片,裸片和(↑£hé)開(kāi)放(fàng)式微(wēi)芯片上(shàng)$★↔>的(de)電(diàn)路(lù)和(hé)器(q ≤ì)件(jiàn)。探針台允許用(yòng)↔£♥€戶将電(diàn)探針,光(guāng)≤≥≠學探針或RF探針放(fàng)置在矽晶片上(shàng),♣✘↑從(cóng)而可(kě)以測試。