集成電(diàn)路(lù)探測系統是(shì)一(yī)種成熟₩☆↕的(de)工(gōng)具,用(yòng)于測試矽晶片,裸片和¥×₽(hé)開(kāi)放(fàng)式微(wēi)芯片上(shàn∞g)的(de)電(diàn)路(lù)和(h♥→é)器(qì)件(jiàn)。探針台允許用(↕♠÷←yòng)戶将電(diàn)探針,光(guāng)' 學探針或RF探針放(fàng)置在矽晶片上(shàng)∑γ,從(cóng)而可(kě)以測試。